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單晶爐過濾器濾芯

描述:單晶爐過濾器濾芯:單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-06-04
  • 訪問量:833
產品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題:單晶爐過濾器濾芯

產品概述

  單晶爐過濾器濾芯
 
  單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
 
  單晶爐的型號與命名:
 
  單晶爐過濾器濾芯 單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的
 
  技術要求:
 
  1.單晶爐裝料量(單臺機產能多少)
 
  2. 能拉多長、幾寸的硅棒
 
  3. 拉制晶棒的成品率是多少
 
  4拉出硅棒品質(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度)
 
  5設備制造工藝控制保證
 
  6自動化控制程度 7設備主要關鍵部件的配置等 。
 
  1、穩定的機架結構設計,增強了設備在晶體生長過程中的抗振動能力。
 
  2、優化的液壓提升機構確保副爐室提升和復位時的運動平穩性。
 
  3、與主機分離的分水器設計,在減少冷卻水振動對晶體生長的影響的同時優化了水路布局。
 
  4、晶體和坩堝的提升采用雙電機結構,保證穩定的低生長速度以及坩堝和籽晶的快速定位。
 
  5、采用無振動的高性能馬達和低噪聲的減速器驅動晶體和坩堝上升,可提供穩定的低生長速度。
 
  6、設備的真空條件和在真空下的可控惰性氣體氣流使得熱區清洗**化。氧化硅可以在不污染晶體和晶體驅動裝置的條件下排除。
 
  7、帶隔離閥的副室可以在熱區保持工作溫度的情況下,取出長成的晶體或者更換籽晶。
 
  8、對惰性氣體流量和爐室壓力高精度的控制能力,為生長高品質單晶創造了條件。
 
  9、爐蓋和爐腔通過兩個提升裝置提升,很方便的轉向一邊快捷地清洗。
 
  10、熔化溫度通過對加熱器溫度的電控來維持和調節,加熱電源采用直流供電提高了控制精度。高品質的加熱器溫度測量傳感器實現了精確的溫度控制。
 
  12、整個晶體生長過程由一個高可靠的可編程計算機控制器(PCC)控制,包括抽真空、熔化、引晶縮頸、放肩、等經生長和尾錐生長,晶體生長全過程可實現全自動(CCD)控制:。
 
  13、帶有數據和報警過程控制的可視化軟件,存儲在計算機的硬盤中。
 
  單晶爐在使用時,爐體處于高溫工作狀態,并要求各運動部件的運動穩定可靠,精度高(尤其是坩堝驅動裝置和籽晶旋轉及提升機構),工作時間長。因此,在使用過程中,要注意設備的維護與保養。
 
  坩堝驅動裝置
 
  坩堝驅動裝置要求的運動精度比較高,是設備的核心運動部件,應重點維護。坩堝軸是石墨坩堝的支撐軸,應隨時檢查其冷卻水的情況,以免燒損。坩堝驅動采用滾珠絲杠和直線導軌結構,是坩堝驅動的關鍵部件,需保持清潔,嚴禁灰塵、雜物附著,并定期涂抹潤滑脂。
 
  籽晶旋轉及提升機構的維修
 
  籽晶旋轉及提升機構也是單晶爐的關鍵部件,該部件運行的好壞直接影響單晶的生長。因此,也須重點維護。  卷輪箱是籽晶提升的核心,卷輪箱內的零件一般情況下不得隨意拆除,必須拆除時,重新安裝時必須保證軟軸對中。軟軸鋼絲繩在使用中不準有死彎現象,并在每次開爐時檢查鋼絲繩是否燒損,如有燒損應及時修整或更換新的鋼絲繩。
 
  其余部件的維修
 
  每次開單晶爐前應檢查水路系統是否暢通,水溫檢測傳感器安裝是否正常。發現有結垢時應及清理。在拉晶過程中,若發現水壓報警或漏水時要及時采取措施。  真空管道的過濾網每爐要清理一次,抽氣管道每20~30爐清理一次。
 

單晶爐過濾器濾芯

 

 
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